การตรวจสอบโดยการใช้กระแสไหลวน (Eddy Current Testing : ET)

         

    หลักการของการตรวจสอบกระแสไหลวนก็คือ เมื่อนำขดลวดที่มีกระแสไฟฟ้าไหลผ่านเข้าใกล้ตัวนำ (ชิ้นงานทดสอบ) บริเวณรอบๆ ขดลวด จะเกิดสนามแม่เหล็กกระทำต่อชิ้นตัวนำ เนื่องจากสนามแม่เหล็กของขดลวดนั้นเกิดจากไฟฟ้ากระแสสลับ ดังนั้น ฟลักซ์แม่เหล็กที่กระทำต่อชิ้นตัวนำจะมีทิศทางและขนาดแปรเปลี่ยนไปตามเวลา ซึ่งในกรณีเช่นนี้จะเกิดแรงดันไฟฟ้าขึ้นต่อต้านการเปลี่ยนแปลงของฟลักซ์แม่เหล็กที่กระทำต่อชิ้นตัวนำ จึงเรียกปรากกฏการณ์นี้ว่า การเหนี่ยวนำแม่เหล็กไฟฟ้า แรงดันที่เกิดขึ้นต่อต้านการเปลี่ยนแปลงของฟลักซ์แม่เหล็กบนตัวนำนี้จะแสดงเป็นเส้นประ (พิจารณาดังภาพ) บนตัวนำ ซึ่งลักษณะของกระแสที่เกิดขึ้นนี้จะเรียกว่า กระแสไหลวน (Eddy Current) ขนาดของกระแสไหลวนที่เกิดขึ้นบนชิ้นตัวนำ ตลอดจนการกระจายขึ้นอยู่กับจำนวนความถี่ ค่าการนำกระแสไฟฟ้าของชิ้นตัวนำ ค่าความซึมซาบสนามแม่เหล็ก รูปร่างและขนาดของชิ้นตัวนำ กระแสในขดลวด ระยะห่างชิ้นตัวนำและขดลวด การแปรเปลี่ยนตามการเกิดรอยบกพร่อง เช่น รอยแตกบนชิ้นตัวนำ หรือชิ้นงาน เป็นต้น

การตรวจสอบด้วยกระแสไหลวนสามารถนำไปใช้งานได้หลายอย่าง เช่น

1. การตรวจหารอยบกพร่อง (Flaw Detector) เนื่องจากรอยบกพร่องจะเป็นตัวขัดขวางการไหลของกระแสมีผลต่อการกระจายของกระแสไหลวน และขนาดของกระแสไหลวนด้วยง
2. ตรวจหาการนำไฟฟ้า (Conductive Material Testing) เนื่องจากวัสดุที่นำไฟฟ้าจะมีค่า ความซึมซาบสนามแม่เหล็ก (Permuability) ต่างกัน จึงสามารถนำมาหาค่าของการนำกระแสไฟฟ้าได้
3. ตรวจหาความหนาของชั้นฟิลม์ เมื่อระยะห่างระหว่างขดลวดทดสอบกันชิ้นตัวนำเปลี่ยนไปค่าที่อ่านได้ก็จะเปลี่ยนแปลงไป หรือเรียกว่าปรากฏการณ์ Lift off Effect ซึ่งสามารถนำมาใช้ในการวัดความหนาของสารที่ไม่เป็นตัวนำเคลือบอยู่บนสารตัวนำ